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    TEM過濾器TEM-128-24規格參數

    描述:TEM過濾器TEM-128-24規格參數
    ?通用和工藝惰性氣體設施半導體、平板顯示器和其他高純度應用。
    ?用于關鍵平板工藝的氣體,包括基板退火。
    的清潔干燥空氣,包括前開口統一吊艙(FOUP)清潔和光刻。

    更新時間:2023-08-24
    產品型號:TEM-100系列
    廠商性質:經銷商
    訪問次數:2842
    詳情介紹
    品牌其他品牌供貨周期一個月以上
    應用領域環保,電子,航天,電氣,綜合

    TEM過濾器TEM-128-24規格參數

    GasPro™  TEM-100高流量ePTFE串聯濾器TEM-128-24規格參數

    GasPro™  TEM-100系列濾波器設計用于3 nm顆粒截留率高達300 scfm,且溫度高達80?C(176F)。ePTFE膜(2.04 m2/22.0平方英尺)使用聚丙烯支撐結構封閉在316L不銹鋼外殼,具有的流動性和耐化學性。使用標準Viton o形圈(其他o形圈材料可在重新測試時獲得)。

    TEM-100系列應用

    •通用和工藝惰性氣體設施半導體、平板顯示器和其他高純度應用。

    •用于關鍵平板工藝的氣體,包括基板退火。

    •關鍵工藝的清潔干燥空氣,包括前開口統一吊艙(FOUP)清潔和光刻。

    TEM-100系列規格

    •過濾等級我們的多孔ePTFE過濾器可提供有效的3 nm顆粒保留。

    •高工作溫度*80°C(176°F)。

    建議更換:在69ºC(156ºF)以上運行6個月。

    •大工作壓力20°C(68°F)時為17.2 bar(250 psig)。

    •大正向流量壓差20ºC(68ºF):6.0bar(87 psi)80ºC(176ºF):4.0bar(58 psi)

    TEM-100系列功能和優點

    •電拋光外殼過濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼,防止腐蝕和粒子在內表面上積聚。

    •包裝外清潔度我們的GasPro™ 清潔TEM-100過濾器,并包裝在無塵室內,不含有機物包裝外、無顆粒和無化學品清潔度。終組裝已清除使用過濾氮氣進行初始清潔。附加的預處理是可選的。

    •多種配件選項,便于安裝標準配件選項包括端面/墊片密封,壓縮、對焊和NPT。特殊配件,包括三夾鉗(三葉草)衛生和法蘭類型,可根據要求提供。

    •氦泄漏測試所有裝置均以1x10-9 atm cc/s的速度進行測試。

    零件號入口/出口配件過濾介質/外殼其他材料長度(L)

    TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口

    PTFE/316L不銹鋼

    TEM過濾器TEM-128-24規格參數

    聚丙烯

    氟橡膠®密封*899.9毫米(35.43英寸)

    TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm(34.0”)

    TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm(37.25”)

    TEM-160-24 1.5“三夾端889 mm(35.0”)

     

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